交汇点讯 9月1日，以“芯链协同 共创未来”为主题的集成电路产业对接会，在无锡市滨湖区举行。来自产业链上下游的优秀企业家、专家学者及投资机构代表齐聚一堂，共谋合作机会。会上，落户滨湖的惠然微电子技术（无锡）有限公司发布3大新品，并与行业龙头签署战略合作协议。“协同”成为对接会上的高频词。
作为本次对接会的重头戏，惠然微电子集中发布自主研发并达到国内领先水平的最新产品，展现国产半导体量测装备的最新突破。其中，“14/22nm CD-SEM关键尺寸量测设备”既兼容22纳米大规模量产，也支撑14纳米前沿工艺研发，是国内首台打通“研发+量产”双场景的高端CD（关键尺寸）量测设备。
该公司董事长王志刚博士介绍，量测设备就像芯片制造过程中的“眼睛”，在光刻、刻蚀等全部核心工艺环节中发挥作用。“眼睛”亮不亮，能不能慧眼观微，影响着晶圆的良率水平、制程迭代速度。在量测设备体系中，电子束关键尺寸量测设备（CD-SEM）是一类核心设备，也是目前国产化率第二低的半导体设备品类。
这款新产品与已有的“眼睛”相比，分辨率更高，能看到更细微的结构，而且量测准确性更高、速度更快。此外，研发场景、量产场景对量测设备的要求不同：在研发场景，需要设备有极高的灵活性，可以完成不同的任务；在量产阶段，工艺基本确定，核心需求就是速度。这款新产品实现了“双场景”适用。
同时发布的“Mask CD-SEM掩模版量测装备”，填补了国产高端掩模版量测设备的空白；“AI-电子束量测技术平台RMS”作为CD-SEM智能体产线全栈解决方案，补齐了国产设备在算法与数据处理端的短板，实现从硬件到软件的自主可控。
对接会上，惠然微电子与国内领先的IDM（垂直整合制造）半导体龙头企业华润微电子控股有限公司，签署战略合作框架协议。双方将围绕半导体设备国产化，联合推动量检测设备的自主研发与产业化应用，并建立技术交流与人才培养机制，共同助力关键半导体装备的自主可控进程。
长电科技、华虹半导体等产业链上下游企业，鲸芯资本、锡高投等投资机构，中国科学院微电子研究所光电中心等科研院所的代表，围绕集成电路产业发展开展交流。记者留意到，“协同”成为发言中频频出现的关键词。华润微电子董事长何小龙表示，高端量检测正从实验室进入量产线，需要国内客户的支持与帮助，保障晶圆制造的供应链体系安全。
经过30余年的培育、发展，无锡市滨湖区成为集成电路产业的沃土，集成电路设计产业获评省级中小企业特色产业集群。全国第一块超大规模集成电路在此诞生，“神威·太湖之光”的多次世界第一在此实现，江南大学、东南大学、中电科五十八所等高校院所在此汇聚，国家集成电路设计中心、清华无锡智能产业创新中心等高能级科创平台在此落地。目前，该区集成电路企业超过200家，全区集成电路产业今年上半年实现营收超70亿元。
滨湖区有关负责人表示，期盼参会嘉宾深入了解产业链伙伴的发展需求、工艺标准，加强材料采购、设备制造、技术攻关等环节的紧密合作，共同提高产业链、供应链的协作水平和竞争能力，营造携手共进、融通发展的良好产业生态。
新华日报·交汇点记者 徐冠英
